微型減速機(jī)常用于控制系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)機(jī)電信號或能量的檢測、解算、放大、執(zhí)行或轉(zhuǎn)換等功能，或用于傳動機(jī)械負(fù)載，也可作為設(shè)備的交、直流電源，應(yīng)用廣泛。

下面小編要為大家介紹的是微型減速機(jī)的系統(tǒng)簡述，內(nèi)容如下：

微型減速機(jī)系統(tǒng)的英文名稱是MEMS（Micro Electro Mechanical systems的縮寫），指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)，主要由傳感順、作動器（執(zhí)行器）和微能源三大部分組成，是可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
它的特點(diǎn)是：
微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短。
以硅為主要材料，機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。
批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機(jī)電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。
集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。
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